【摘 要】
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<正> 一、基本原理概述 重氮萘醌系阳图转阴图PS版技术以及正型抗蚀剂反转成像技术已有很多文献报道,一般采用的配方是在现有阳图PS版感光组成物中,加入1%～5%的咪唑类衍生物或
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<正> 一、基本原理概述 重氮萘醌系阳图转阴图PS版技术以及正型抗蚀剂反转成像技术已有很多文献报道,一般采用的配方是在现有阳图PS版感光组成物中,加入1%～5%的咪唑类衍生物或某些特种三级胺。其成像工艺为:首先在PS版表面蒙一张阴图软片进行曝光,接着在120～140℃下加热5～10分钟或在100～120℃下加热15～20分钟(使曝光部分在规定显影液中不容),再在紫外灯下全面曝光
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