【摘 要】
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主要讨论了具有机械式抗反射开关(即MARS)结构的新型微机械可调式光衰减器.MARS结构可调式光衰减器由表面微机械工艺制备.当器件被正弦信号激励时,其响应信号也是正弦信号,但
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主要讨论了具有机械式抗反射开关(即MARS)结构的新型微机械可调式光衰减器.MARS结构可调式光衰减器由表面微机械工艺制备.当器件被正弦信号激励时,其响应信号也是正弦信号,但两者的相位相反. 同时,微机械可调式光衰减器有一系列的固有频率.测量表明,器件反射率的上升时间为5 μs,下降时间为3.3 μs.如果器件由线性变化的锯齿信号驱动,当驱动信号小于23 V时,器件的反射率变化也是线性的,当驱动信号大于23 V时,器件的反射率响应出现非线性,信号越大,非线性越明显.
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