【摘 要】
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面向高速行波电吸收(EA)调制器的需要,设计并制作了基于苯并环丁烯(BCB)聚合物/InP衬底的宽带(0~40 GHz)、低损耗微波共面波导传输线。对共面波导结构开展仿真设计,分别对BCB
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面向高速行波电吸收(EA)调制器的需要,设计并制作了基于苯并环丁烯(BCB)聚合物/InP衬底的宽带(0~40 GHz)、低损耗微波共面波导传输线。对共面波导结构开展仿真设计,分别对BCB材料厚度、InP衬底导电率和信号电极宽度等关键参数进行了优化。结果表明,当设计的BCB膜厚为4μm、InP衬底导电率小于0.002(Ω.cm)-1和信号线宽度为84μm时,微波传输性能可达最优。在此基础上,采用电阻率为108Ω.cm的半绝缘(SI)InP衬底、涂覆4μm BCB薄膜,制作出0~40 GHz范围内微波损耗小于0.5 dB/mm的共面波导传输线。
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