论文部分内容阅读
采用一种新的工艺方法提高了垂直腔面发射激光器的输出功率．采用开环分布孔代替环形沟槽，使器件的输出功率提高了0．34倍．14μm孔径的器件输出功率超过10mW，工作电流为29．6mA时，最大输出功率达到12．48mW．而且，这些开环分布孔为电注入提供了便捷的桥通道，很好地解决了电极易过沟断线问题．器件表现了良好的高温工作特性，当温度高达60℃时输出功率仍可达到8mW．