【摘 要】
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用AES研究了P-InP与Au,Cr,Ti,Cr/Au和Ti/Pd/Au界面在热处理过程中的互扩散现象。结果表明:Au,Cr有内扩散现象发生,Ti,Pd层对内扩散有一定阻挡作用。用Ti/Pd/Au体系作InGaAsP/
【机 构】
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中国科学院上海冶金研究所,中国科学院上海冶金研究所,中国科学院上海冶金研究所,上海测试技术研究所,
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用AES研究了P-InP与Au,Cr,Ti,Cr/Au和Ti/Pd/Au界面在热处理过程中的互扩散现象。结果表明:Au,Cr有内扩散现象发生,Ti,Pd层对内扩散有一定阻挡作用。用Ti/Pd/Au体系作InGaAsP/InP双异质结发光管的肖脱基势垒材料,制作的器件在85℃下存贮8000小时能保持特性参数不变,表明Ti/Pd/Au肖脱基势垒有较好的稳定性。
The interdiffusion phenomena of P-InP and Au, Cr, Ti, Cr / Au and Ti / Pd / Au interface during heat treatment were studied by using AES. The results show that the internal diffusion of Au and Cr occurs, and Ti and Pd layers have a certain barrier to internal diffusion. The Ti / Pd / Au system was used as Schottky barrier material for InGaAsP / InP double heterojunction LED. The fabricated device was stored for 8,000 hours at 85 ° C to maintain the characteristic parameters unchanged, indicating that Ti / Pd / Au Off-base barrier has good stability.
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