论文部分内容阅读
根据菲涅尔-基尔霍夫衍射公式,推导出斜照明接近式光刻系统中硅片表面的光强分布,并在几种条件下进行了模拟数值计算,分析了斜照技术的实用条件及改善光刻分辨率的效果和应用前景.
接近式光刻中斜照明改善分辨率的模拟与分析
【摘 要】
：
根据菲涅尔-基尔霍夫衍射公式,推导出斜照明接近式光刻系统中硅片表面的光强分布,并在几种条件下进行了模拟数值计算,分析了斜照技术的实用条件及改善光刻分辨率的效果和应用
【机 构】
：
中国科学院上海光学精密机械研究所
【出 处】
：
微细加工技术
【发表日期】
：
2001年2期
【基金项目】
：
国家自然科学基金
其他文献
为了进一步提升统计人员素质，优化统计干部队伍，提高源头数据质量，2月21—22日，秀山县统计局举办了全县统计知识培训班。各乡镇（街道）、部门分管领导和统计工作负贵人及县统计局全
省级媒体在新闻报道时往往不得不面对这样的两难境地。在宏观政策的解读上没有中央媒体权威、全面、深刻，在地方新闻的报道上没有市县媒体的迅捷接近。作为上星的卫视新闻，《18
借贷契约是唐代民间社会为了建立信用关系而普遍采用的一种形式。民间社会在契约的订立、履行和违约方面有着一套自己的行为准则和风俗规定,虽然官府对于民间私契也制定了一
息差管理事关商业银行回报社会、回报股东、回报员工,事关抗风险、可持续发展的能力。文章通过洞察息差问题及问题背后的问题,提出辩证施策,标本兼治——即一个统领,两大主线
在一年一度的中国广播文艺奖原创歌曲十大金曲奖（政府一等奖）评选中，江苏广电总台音乐频率选送的歌曲每每中的，且清一色的军歌，而作者都出自南京军区前线歌舞团。在获奖几率如此之
提出一种与标准IC工艺兼容的MEMS单片集成新方法-后微机械技术,研究了与之相关的关键技术,PECVD淀积SiC保护电路技术及多孔硅牲层技术,并进行了多孔硅牺牲层技术的实验研究,
研究了离轴照明对65 nm分辨率ArF浸没式光刻的影响.在3/4环形照明和3/4四极照明方式下,研究65 nm线宽的密集线条、半密集线条、孤立线条在较大曝光系统参数范围内的光刻性能,
采用钟罩式微波等离子体化学气相沉积（MWPCVD）设备，以氢气和甲烷作为反应气源，制备了一种新型结构碳材料——碳纳米针。通过扫描电子显微镜和拉曼光谱仪对其形态结构和成份进行了
提出了电子束真空辐射固化技术新概念,并对该技术的固化机理等进行了阐述.通过对液态低聚物辐射固化条件和SDS-Ⅱ型曝光机的加速电压、曝光剂量等曝光参数的分析研究,得出SDS