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文章就热壁ＬＰＣＶＤ设备使用过程中出现的几个问题作了较全面的分析，提出了一些解决办法，并就热壁ＬＰＣＶＤ备设出现的故障及设备的维护谈了自己的一点体会。
热壁LPCVD设备使用中几个问题的探讨
【摘 要】
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文章就热壁ＬＰＣＶＤ设备使用过程中出现的几个问题作了较全面的分析，提出了一些解决办法，并就热壁ＬＰＣＶＤ备设出现的故障及设备的维护谈了自己的一点体会。
【机 构】
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重庆光电技术研究所
【出 处】
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电子工业专用设备
【发表日期】
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1996年1期
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