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介绍了一种利用新型发光二极管外延片光致发光光谱在线检测仪对GaP发光二极管外延片进行在线无损检测和质量控制的方法。通过对检测结果的统计分析，得出了对生产工艺的改进意见。最终实现了提高GaP外延片质量的目的。
发光二极管外延片质量控制的新方法
【摘 要】
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介绍了一种利用新型发光二极管外延片光致发光光谱在线检测仪对GaP发光二极管外延片进行在线无损检测和质量控制的方法。通过对检测结果的统计分析，得出了对生产工艺的改进意
【机 构】
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清华大学物理系
【出 处】
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半导体学报
【发表日期】
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2002年12期
【基金项目】
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国家高技术研究发展计划资助项目 (编号 :863 -715 -714 -0 110 )~~
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