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针对压电陶瓷执行器的迟滞问题，设计多模时变滑模逆补偿控制器对压电陶瓷执行器进行控制。首先，利用Preisach逆模型对迟滞进行串级补偿。然后，针对补偿后的压电陶瓷执行器，设计滑模变结构控制。为了消除滑模控制的到达过程，采用带指数项的滑模面。为了消除系统的静态误差，同时也减小超调，设计一个普通时变滑模面和一个带积分项的时变滑模面，采用多模控制的思想对所设计的两个滑模控制进行切换。并且通过模糊控制方法确定两个滑模控制器的切换时刻。另外，用滑模面代替切换函数有效地消除了抖振。实验结果表明，所采用的多模时变滑模逆