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气体静压导轨是超精密工程的核心基础技术之一，其气膜振动是影响加工精度的主要因素。提出了一种气体静压导轨气膜厚度的电容式测试方法，将气体静压导轨的节流器工作底面与实验台面当作电容式传感器的2个极板，当气膜厚度发生变化时，电容将产生较大变化。通过测量节流器与工作面间的电容，计算得到气膜厚度值。同时建立了不同凹面节流器电容与气膜厚度的数学模型。实验利用电容测量仪与电感测微测头同时对气膜厚度进行测量，结果显示两者误差为0．42μm，为气体静压导轨气膜厚度的测量提供了新的方法。