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由肉桂叉丙二酸(或酯)与乙二醇合成的聚酯胶在微电子工业上作为光致抗蚀剂使用时,最突出的优点是分辨率高、光敏性好,主要缺点是抗蚀性较差,针孔较多,应用受到极大的限制。为了探索聚酯胶的分子组成和性能的关系,开发聚酯肢在精细加工中的应用,作者用2—6个碳原子的二元醇与肉桂叉丙二酸二乙酯和对苯二甲酸二甲酯,进行二元或三元共