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[学位论文] 作者:仝召民, 来源:中北大学 年份:2008
微/纳电子机械系统(M/NEMS)具有小型化、低功耗、集成度高等优点,可以完成大尺寸机电系统所不能完成的任务,也可嵌入大系统中,把自动化、智能化和可靠性提高到一个新的水平。基......
[学位论文] 作者:仝召民, 来源: 年份:2008
微/纳电子机械系统(M/NEMS)具有小型化、低功耗、集成度高等优点,可以完成大尺寸机电系统所不能完成的任务,也可嵌入大系统中,把自动化、智能化和可靠性提高到一个新的水平。基于掺杂硅压阻效应的MEMS器件研究已经有几十年的历史,并获得了广泛地应用。但是硅压......
[期刊论文] 作者:宋少华,仝召民,, 来源:城市道桥与防洪 年份:2019
该文从挂篮荷载计算、施工流程、支座及临时固结施工、挂篮安装及试验、合拢段施工、模板制作安装、钢筋安装、混凝土的浇筑及养生、测量监控等方面人手,介绍了S226海滨大桥...
[期刊论文] 作者:宋少华,仝召民(指导), 来源:光学精密工程 年份:2019
针对单颗激光二极管光功率过高不能直接用于激光液晶电视光源阵列的限制,本文设计了将高功率激光束分为多束功率接近的子光束的扫描分光系统,从而为液晶电视提供激光背光。系...
[期刊论文] 作者:韩杰敏, 王梅, 仝召民, 马一飞,, 来源:无机材料学报 年份:2019
本研究提出并制备了一种以石墨烯森林为电极的摩擦纳米发电机.利用等离子体增强化学气相沉积工艺制备了与其它墙形竖直薄片状的石墨烯形貌差异较大的石墨烯森林.此石墨烯森林...
[期刊论文] 作者:仝召民,薛晨阳,张斌珍,王勇,, 来源:纳米技术与精密工程 年份:2007
针对感应耦合等离子(ICP)刻蚀气室气体分布不均匀性所导致的被刻蚀台面中间厚、边缘薄及干法刻蚀后残余应力大等缺点,进行了GaAs/AlAs的选择性湿法腐蚀工艺研究.腐蚀液为50%一水柠......
[期刊论文] 作者:仝召民,薛晨阳,林沂杰,陈尚,, 来源:半导体学报 年份:2008
报道了微结构中共振隧穿二极管(RTD)的压阻效应.分析并加工了四梁结构,其中RTD置于应力敏感区.沿[110]晶向和[10]晶向的应力导致RTD电流-电压曲线的改变,即介观压阻变化,尤...
[期刊论文] 作者:仝召民,薛晨阳,张斌珍,刘俊,乔慧, 来源:半导体学报 年份:2008
报道了共振隧穿二极管(RTD)在压力下的弛豫振荡特性.采用Pspice8.0软件仿真并设计了振荡电路,测得其振荡频率达200kHz.在(100)半绝缘(SI)GaAs衬底上利用分子束外延(MBE)技术生长了AlAs/In,G......
[期刊论文] 作者:张文栋,熊继军,薛晨阳,张斌珍,仝召民,, 来源:机械工程学报 年份:2008
介绍GaAs/AlAs/InGaAs双势垒超晶格薄膜结构的介观压阻效应以及几种基于此效应的新型传感器件。阐述介观压阻效应的四个过程,结合空气桥结构和欧姆接触技术,在[001]晶向半绝缘GaA......
[期刊论文] 作者:仝召民,薛晨阳,张斌珍,王勇,张文栋,张雄文,, 来源:半导体学报 年份:2008
报道了GaAs/AlAs的电感耦合等离子体(ICP)选择性干法刻蚀,刻蚀气体为SiCl4/SF6混合物.研究了在不同SiCl4/SF6气体配比、RF偏压电源功率和气室压力下,GaAs,AlAs的平均刻蚀速率与...
[期刊论文] 作者:仝召民,薛晨阳,张斌珍,刘俊,乔慧,郭慧芳,, 来源:功能材料与器件学报 年份:2008
本工作设计了一种基于AlAs/InGaAs/GaAs量子隧穿效应的纳机电拍子式声传感器,并采用ANSYS有限元分析软件对敏感元件的布置位置进行了最优化仿真设计。在加工工艺上,采用双空...
[期刊论文] 作者:王建,张文栋,薛晨阳,熊继军,张斌珍,仝召民,, 来源:传感技术学报 年份:2006
为了突破传统的机电转换效应的宏观物理局限,为更高灵敏度、更低功耗的微/纳机电压力传感器的设计提供理论、工艺及实验依据,首次设计并利用微机械控制孔技术加工制作了基于AlAs......
[期刊论文] 作者:张文栋,王建,薛晨阳,熊继军,张斌珍,仝召民,, 来源:传感技术学报 年份:2006
实验研究了基于AlAs/InxGa1-xAs/GaAs共振隧穿二极管(RTD)的振荡器的压力-频率转换特性,实验结果表明:该特性具有良好的线性特征,且其线性灵敏度达到0.84kHz/MPa.利用此压力-频率转换特......
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