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[期刊论文] 作者：冯地直,
来源：四川有色金属 年份：1998
本文介绍了用国产有蜡抛光机生产加工抛光片时，对改善硅片ＴＴＶ值的工艺探索，并指出影响硅抛光片ＴＴＶ值和ＴＩＲ值的重要因素－抛光片载体，对其进行经常性质量检验与修正的必要性。......
[期刊论文] 作者：冯地直,,
来源：半导体技术 年份：2010
在对电容法测量Si片厚度的原理分析基础上,根据电阻率与介质介电常数ε的对应关系,分析了用电容法测试Si片厚度时,电阻率及电阻率均匀性对测试结果的影响,并采用千分尺(有接...
[会议论文] 作者：冯地直;,
来源：第十二届中国科协年会 年份：2010
电容法测量硅片几何参数（厚度、TTV）已得到广泛应用，较有接触测试其具有高效、不损伤硅片表面质量的优点，目前已有ADE6034及Wafer Check 7000、7200等自动测试分选设备，但是，当被测......
[期刊论文] 作者：邓良平,冯地直,,
来源：中国军转民 年份：2007
峨嵋半导体材料厂（所）是我国20世纪60年代内迁三线建设的第一家从事半导体材料科研、试制、生产相结合的大型国有企业。自1965年成立以来至今已具有40多年为军工配套服务的历史......
[期刊论文] 作者：蒋荣华,邓良平,冯地直,肖顺珍,汪光裕,,
来源：新材料产业 年份：2007
面对太阳电池对多晶硅和单晶硅材料的巨大需求,各多晶硅厂家计划通过专用生产线和新工艺增加产量,以满足不断增长的需求。2006年以来,中国的多晶硅生产也在飞跃发展。...
[期刊论文] 作者：蒋荣华,邓良平,冯地直,肖顺珍,姚才友,汪光裕,,
来源：新材料产业 年份：2008
近年来,在龙头企业的带动、国家政策的支持和引导之下,我国太阳能电池产业的高速发展。然而,在市场大规模兴起之前,如何顺利度过漫长的市场培育和启动期,将是企业需要面对的...
[期刊论文] 作者：蒋荣竿,邓良平,冯地直,肖顺珍,姚才友,汪光裕,
来源：新材料产业 年份：2008
我国的光伏发电应用始于20世纪70年代,在20世纪末,我国太阳能电池的研究和生产还处于基础和小规模阶段.然而进入21世纪,已建成7个初具规模的光伏电池生产厂,光伏电池组件的年...
[期刊论文] 作者：蒋荣华,冯地直,饶家荣,肖顺珍,彭松文,丁国江,吴贤富,,
来源：新材料产业 年份：2008
随着我国近年来多晶硅生产规模急剧扩大，副产物SiCl4产生的数量将是一个非常庞大的数字，如果不能充分利用，采取自由排放，将可能产生环境灾难和巨大资源浪费。因此生产多晶硅的企......
[期刊论文] 作者：蒋荣华,冯地直,饶家荣,肖右珍,彭松文,丁国江,吴贤富,
来源：新材料产业 年份：2008
随着我国近年来多品硅生产规模急剧扩大,副产物SiCl4产生的数量将是一个非常庞大的数字,如果不能充分利用,采取自由排放,将可能产生环境灾难和巨大资源浪费....
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