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[期刊论文] 作者：卢求元, 赵俊平,,
来源：金属热处理 年份：2004
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[会议论文] 作者：李刘合, 卢求元, 朱剑豪,,
来源： 年份：2004
1/4弯管型弯曲电弧磁过滤装置是去除真空阴极电弧沉积中宏观颗粒,获得高质量真空电弧沉积薄膜的最常用的手段。本文用有限元分析的方法,模拟了磁场在该类装置中的磁场,给出了...
[期刊论文] 作者：李芬,朱颖,李刘合,卢求元,朱剑豪,,
来源：真空电子技术 年份：2011
磁控溅射技术可制备超硬膜、耐腐蚀摩擦薄膜、超导薄膜、磁性薄膜、光学薄膜,以及各种具有特殊功能的薄膜,在工业薄膜制备领域的应用非常广泛。本文着重介绍了磁控溅射技术原...
[期刊论文] 作者：庞恩敬,朱颖,李芬,李刘合,卢求元,朱剑豪,
来源：2010全国荷电粒子源、粒子束学术会议 年份：2010
磁控溅射系统中的磁场分布对溅射过程的稳定性、离化率、靶材利用率及成膜质量都有着重要影响,合理的磁场分布可以使靶材附近的等离子体分布更加均匀,进而减小靶材上不同位置...
[会议论文] 作者：梁波,朱颖,庞恩敬,李刘合,卢求元,朱剑豪,
来源：2010全国荷电粒子源、粒子束学术会议 年份：2010
随着信息技术和材料科学突飞猛进的发展,真空蒸发镀膜、溅射镀膜、离子镀膜、离子注入和化学气相沉积等技术手段的应用范围越来越广泛。然而,各种技术单独使用时却存在各种各...
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