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[期刊论文] 作者：吝海锋,杨拥军,郑锋,
来源：微纳电子技术 年份：2002
针对硅梁论述了微机械电容式加速度传感器的工作原理,应用有限元分析方法对三种不同的硅梁结构对加速度计进行结构建模,并模拟分析了三种不同的梁的加速度计结构的第一和第二...
[会议论文] 作者：张旭辉,卞玉民,吝海锋,
来源：2011第十四届汽车安全技术学术会议 年份：2011
本文介绍了一种MEMS压阻式汽车碰撞传感器频率特性的快捷评估方法，可快速获得传感器的谐振频率和阻尼比等信息。该方法的测试结果与传统扫频测试方法的测试结果进行了对比......
[期刊论文] 作者：吝海锋,何洪涛,卞玉民,杨拥军,
来源：微纳电子技术 年份：2009
采用MEMS体Si加工工艺和圆片级封装技术，开发了一种基于特种运输中的新型无源MEMS万向碰撞开关。开关选用弹簧-质量-阻尼的典型碰撞结构，对惯性加速度计敏感，以碰撞接触的形式提......
[期刊论文] 作者：杨拥军,吝海锋,师谦,徐爱东,
来源：微纳电子技术 年份：2003
介绍了一种新型的微机械加速度计--热对流加速度计的工作原理及加工制造工艺.由于加速度计由单晶硅腔体、加热器和两只在加热器两侧并与加热器等距的温度传感器构成,其本身没...
[期刊论文] 作者：吝海锋,何洪涛,卞玉民,杨拥军,
来源：微纳电子技术 年份：2009
采用MEMS体Si加工工艺和圆片级封装技术,开发了一种基于特种运输中的新型无源MEMS万向碰撞开关.开关选用弹簧-质量-阻尼的典型碰撞结构,对惯性加速度计敏感,以碰撞接触的形式...
[期刊论文] 作者：何洪涛,杨拥军,徐永青,吝海锋,
来源：微纳电子技术 年份：2002
高g加速度计具有高过载、高响应速度、高环境压力以及体积小和价格低等特点。我们开发的新型电容式加速度计,具有10万g的量程,能够实现高g环境下的加速度测量,满足了用户的要...
[期刊论文] 作者：吝海锋,王宁,杨拥军,徐淑静,李博,,
来源：微纳电子技术 年份：2018
为了减小正交误差对硅MEMS陀螺仪性能的影响,进一步提高陀螺精度和工程化成品率,对MEMS陀螺正交耦合的影响因素进行了研究。通过MEMS陀螺的运动学简化模型,分析了正交耦合的...
[期刊论文] 作者：吝海锋, 沈超群, 杨拥军, 沈路, 王宁, 刘译允,,
来源：微纳电子技术 年份：2018
为减小外部环境的振动和冲击对微惯性测量单元(MIMU)的输出的影响,基于减振器六种隔振模式理论和单自由度系统无阻尼自由振动原理,选择合适的隔振模式并分析了MIMU橡胶减振器...
[期刊论文] 作者：吝海锋,吕苗,杨拥军,师谦,郑锋,恩云飞,
来源：中国机械工程 年份：2005
探讨了MEMS电容式加速度计的结构、电路、制造工艺和系统等各方面的可靠性,总结出了表面粘附、结构断裂、分层失效和辐射失效等几种主要失效模式,并进行相应的失效机理分析....
[会议论文] 作者：杨拥军[1]吝海锋[1]师谦[2]徐爱东[1],
来源：中国微米/纳米第六届学术年会 年份：2003
介绍了一种新型的微机械加速度计--热对流加速度计的工作原理及加工制造工艺.由于加速度计由单晶硅腔体、加热器和两只在加热器两侧并与加热器等距的温度传感器构成,其本身没...
[期刊论文] 作者：吝海锋，吕苗，杨拥军，师谦，郑锋，恩云飞，LinHaifen,
来源：中国机械工程 年份：2005
...
[会议论文] 作者：吝海锋[1]吕苗[1]杨拥军[1]师谦[2]郑锋[1]恩云飞[2],
来源：中国微米纳米技术第七届学术年会 年份：2005
本文探讨了MEMS电容式加速度计的结构、电路、制造工艺和系统等各方面的可靠性,总结出了表面粘附、结构断裂、分层失效和辐射失效等几种主要失效模式,并进行相应的失效机...
[会议论文] 作者：杨拥军,徐爱东,郑锋,徐永青,何洪涛,卞玉民,吝海锋,吕树海,罗蓉,邹学锋,
来源：2003年惯性仪表与元件学术交流会 年份：2003
介绍了中国电子科技集团公司第十三研究所在MEMS惯性传感器方面的研究和开发情况.主要有已定型的±501g MEMS电子表容力平衡加速度传感器,即将定型±70g二维MEMS电容力平衡加...
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