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[会议论文] 作者:周烽;王辉;王丽萍;,
来源:第四届全国信息光学与光子器件学术会议 年份:2012
点衍射干涉测量的面型重复精度一定程度上依赖于测量框架结构的短期稳定性,从测量框架高稳定性的使用要求出发,对测量框架的机械结构进行了设计.在此基础上针对检测框架...
[期刊论文] 作者:周烽,王辉,王丽萍,,
来源:中国激光 年份:2012
干涉测量的面形重复精度一定程度上依赖于测量框架结构的稳定性,从测量框架高稳定性的使用要求出发,对测量框架的机械结构进行了设计。在此基础上针对检测框架在随机振动下的...
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