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[期刊论文] 作者：徐嘉东,商作起,
来源：微细加工技术 年份：1991
本文描述了改进型潘宁离子源在活性化学反应机理作用基础上获得难熔金属离子。研究了源结构和引束上活性气体的影响,并获得有关结果。...
[期刊论文] 作者：商作起,徐嘉东,
来源：微细加工技术 年份：1991
本文介绍了离子注入技术中双偏角注入,大偏角注入和双向双偏注入等新工艺与使用效果。同时,阐析了BF~+对Si~+注入的沾污,以及以上研究在研制高水平GaAs器件中的关键作用。...
[期刊论文] 作者：徐嘉东,商作起,李建明,杨占坤,王培大,
来源：微细加工技术 年份：2004
本文描述了改进型潘宁离子源在活性化学反应机理作用基础上获得难熔金属离子。研究了源结构和引束上活性气体的影响,并获得有关结果。This paper describes the improved P...
[期刊论文] 作者：商作起,徐嘉东,杨占坤,李建明,王培大,
来源：微细加工技术 年份：1991
本文介绍了离子注入技术中双偏角注入,大偏角注入和双向双偏注入等新工艺与使用效果。同时,阐析了BF~+对Si~+注入的沾污,以及以上研究在研制高水平GaAs器件中的关键作用。T...
[期刊论文] 作者：石万全,姚德成,刘世祥,朱美芳,曹友琦,商作起,虞加峰,,
来源：激光与红外 年份：1984
一、引言多晶硅薄膜在集成电路制造工艺中应用日趋增多,诸如利用多晶硅薄膜制造硅栅、多晶硅薄膜电阻、多晶硅引线、双极性晶体管的发射区等。多晶硅薄膜的激光退火能使其晶...
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