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[学位论文] 作者：李幼真,,
来源：中南大学 年份：2011
随着集成电路集成度的不断提高及特征尺寸的持续减小,研发低电阻率金属导线和低介电常数介质组成的新型金属互连体系以取代传统的A1互连体系成为必然的选择。Cu由于其低的电...
[学位论文] 作者：李幼真,
来源： 年份：2002
含氟碳膜是一种很有应用前景的集成电路用介质材料，其低的介电常数和较好的热稳定性使它可以取代传统的SiO_2作为致密、高速集成电路的金属互连线间的绝缘隔离层，从而提高集成电路的速度和效率。本文系统阐述了薄膜的特点、制备方法以及用途，在综述前人工作的基础......
[期刊论文] 作者：李幼真,刘正,,
来源：真空科学与技术学报 年份：2012
采用磁控反应溅射技术在p型Si(111)衬底上制备了Ta-Si-N薄膜与Cu/Ta-Si-N复合结构,并对样品进行了快速热处理.用四探针电阻测试仪、原子力显微镜、X射线衍射和扫描电镜等对样...
[期刊论文] 作者：李幼真,徐富新,
来源：大学物理实验 年份：2012
根据目前大学物理实验开放式教学的现状,提出了当前物理实验教学的开放应结合各校实际,分阶段,分层次地进行,才能达到最佳教学效果。...
[期刊论文] 作者：李幼真,徐富新,
来源：大学物理实验 年份：2011
分析当前大学物理实验教学中存在的问题及建立物理实验技能及创新能力培养平台的必要性,通过调研及实践,初步摸索出了该平台的建设思路及管理模式。...
[期刊论文] 作者：李幼真,陈勇民,
来源：中国有色金属学报 年份：2012
利用晶硅电池模拟软件PC1D研究晶硅衬底的厚度、少子寿命及掺杂浓度对电池输出特性的影响规律。结果表明：晶硅衬底的厚度对电池输出特性的影响与其少子的扩散长度有关,衬底厚...
[会议论文] 作者：李幼真,李新梅,
来源：2011年全国高等学校物理基础课程教育学术研讨会 年份：2011
结合教师的科研工作,在高年级理工科大学生中开设了研究型实验,受到学生好评,理顺了教学秩序,合理安排了教学内容,在基础实验和科研工作间架起了桥梁,实践证明开设研究型实验...
[期刊论文] 作者：李幼真,周继承,陈海波,,
来源：材料导报 年份：2007
阐述了集成电路Cu互连中的技术难题，重点讨论了Cu的扩散问题，综述了扩散阻挡层的研究发展进程，重点介绍了当今研究较多的难熔金属、难熔金属氮化物及其三元结构阻挡层的最新进展......
[期刊论文] 作者：李幼真,陈海波,刘正,,
来源：材料导报 年份：2012
采用磁控反应共溅射法制备了Ta-A1-N纳米薄膜及Cu／Ta-A1-N／Si结构，并在氮气保护下对薄膜进行了快速热处理，用四探针电阻测试仪、台阶仪、原子力显微镜、X射线衍射、X射线光电子能......
[期刊论文] 作者：陈海波,周继承,李幼真,,
来源：材料导报 年份：2006
简要介绍了集成电路的发展趋势及其带来的相关问题和解决办法。综述了国内外对Cu互连扩散阻挡层的制备方法与工艺、阻挡层的选材、阻挡层薄膜的特性等最新研究的进展。评述了...
[期刊论文] 作者：陈海波,周继承,李幼真,,
来源：功能材料 年份：2007
采用直流磁控溅射方法在P型（100）Si衬底上制备了Cu／Ta、Cu／Ta-N和Cu／Ta-Al-N复合膜，并对薄膜样品进行了卤钨灯快速热退火。用四探针电阻测试仪（FPP）、AFM、SEM、Alpha-step IQ台阶仪...
[期刊论文] 作者：周继承,陈海波,李幼真,,
来源：真空科学与技术学报 年份：2007
采用直流反应磁控溅射方法在P型（100）Si衬底上制备了Ta-Al—N纳米薄膜与Cu／Ta-Al—N复合膜，并对薄膜样品进行了卤钨灯快速热退火（RTP）。用四探针电阻测试仪（VPP）、AFM、SEM—EDS、Alp......
[期刊论文] 作者：周继承,陈海波,李幼真,,
来源：Transactions of Nonferrous Metals Society of China 年份：2007
薄电影的 TaNx nanoscale 和 Cu/TaNx 多层的结构被 DC 反应磁控管劈啪作响在 P 类型 Si (100 ) 底层上扔。TaNx 电影的特征和 Cu/TaNx/Si 系统的热稳定性在各种各样的温度退...
[期刊论文] 作者：陈海波,周继承,李幼真,,
来源：中国科学(E辑:技术科学) 年份：2008
采用直流磁控溅射方法在p型(100)Si衬底上制备了3类Ta基纳米阻挡层薄膜及其对应的Cu/barrier/Si复合膜,并对薄膜样品进行了卤钨灯快速热退火(RTA).用四探针电阻测试仪(FPP),A...
[期刊论文] 作者：李新梅,李幼真,丁家峰,
来源：大学物理实验 年份：2011
利用作图法、逐差法以及最小二乘法三种方法对非良导体导热系数实验所测量的数据进行了处理。通过对三种数据处理方法进行分析、比较,发现逐差法是该实验中数据处理的最佳方...
[期刊论文] 作者：刘雄飞,李幼真,肖剑荣,
来源：电子元件与材料 年份：2003
用等离子体增强化学气相沉积(PECVD)法制备了不同工艺条件下的含氟碳膜.测量了薄膜的厚度和介电常数,并用傅立叶红外光谱分析了薄膜化学结构,发现薄膜成分和介电性与沉积工艺...
[期刊论文] 作者：李幼真,周继承,陈海波,刘正,,
来源：固体电子学研究与进展 年份：2008
采用磁控反应共溅射方法制备了纳米Ta—Al-N薄膜，并原位制备了Cu／Ta—Al-N薄膜，对薄膜进行了热处理。用四探针测试仪、X射线衍射仪（XRD）、扫描电镜（SEM）、原子力显微镜（AFM）以及台阶仪......
[期刊论文] 作者：刘雄飞,李幼真,肖剑荣,
来源：微细加工技术 年份：2002
采用PECVD法制备了低介电常数薄膜a-C:F,研究了薄膜沉积速率与温度及射频功率的关系,测量了不同沉积条件下薄膜的介电常数,并用FTIR分析了薄膜的化学结构及成分,发现薄膜沉积...
[期刊论文] 作者：刘雄飞,肖剑荣,李幼真,
来源：真空 年份：2004
以CF4和CH4为源气体,用等离子体增强化学气相沉积(PECVD)方法制备了不同工艺条件下的氟化非晶碳(a-C∶F)薄膜。发现薄膜的沉积速率和射频功率几乎成正比关系,薄膜中氟的存在...
[期刊论文] 作者：陈波,何彪,李幼真,徐富新,
来源：大学物理 年份：2020
尼尔斯·玻尔(1885-1962)是20世纪著名的物理学家,年轻时就发表了影响深远的"三部曲".本文通过其重新诠释"弗兰克-赫兹"实验结果、创建哥本哈根研究所、与爱因斯坦论战、...
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