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[学位论文] 作者：聂陟枫,,
来源： 年份：2014
改良西门子法是目前生产多晶硅的主流技术,其中三氯氢硅和氢气在还原炉内发生化学气相沉积过程是该工艺的关键工段,其能耗占多晶硅生产过程总能耗的60%以上。为了更有效地降...
[学位论文] 作者：聂陟枫,,
来源：昆明理工大学 年份：2016
作为一种性能优越的半导体材料,多晶硅被广泛地应用于电子及光伏产业。改良西门子法是目前生产多晶硅的主流技术,其中三氯氢硅和氢气在西门子反应器中发生化学气相沉积过程是...
[会议论文] 作者：侯彦青,聂陟枫,
来源：第十二届中国太阳级硅及光伏发电研讨会 年份：2016
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[期刊论文] 作者：聂陟枫,戴恩睿,谢刚,田林,包崇军,
来源：太阳能学报 年份：2021
以多晶硅还原炉硅棒焦耳电加热过程为研究对象,考虑辐射、对流以及化学反应热3种热量传递形式,耦合频率控制的电磁场模型,建立硅棒焦耳电加热模型.基于该模型,分析不同频率下...
[期刊论文] 作者：聂陟枫,谢刚,侯彦青,崔焱,李荣兴,宋东明,
来源：人工晶体学报 年份：2014
本文考虑包括热辐射在内的质量传递、动量传递、能量传递三维模型,利用流体力学计算软件,对12对棒西门子多晶硅CVD还原炉硅沉积过程的传热情况进行数值模拟。应用传热模型计...
[期刊论文] 作者：聂陟枫,谢刚,侯彦青,崔焱,李荣兴,俞小花,
来源：人工晶体学报 年份：2015
考虑西门子反应器中对流、辐射以及化学反应热三种热传递形式，建立了硅棒的二维轴对称热传递模型。相比于对流和化学反应热，辐射是最主要的传热方式。基于此模型分析了12对棒西......
[期刊论文] 作者：侯彦青,聂陟枫,谢刚,李荣兴,俞小花,Plant A Ramachandran,,
来源：Chinese Journal of Chemical Engineering 年份：2015
The modified Siemens process,which is the major process of producing polycrystalline silicon through current technologies,is a high temperature,slow,semi-batch...
[期刊论文] 作者：周扬民,聂陟枫,谢刚,李亚广,侯彦青,,
来源：人工晶体学报 年份：2017
改良西门子法制备多晶硅过程中,化学气相沉积所需能量全部由电流加热硅棒提供。本文考虑多晶硅还原炉中辐射和对流热量传递形式,耦合频率控制的焦耳电加热方程,建立了12对棒...
[期刊论文] 作者：侯彦青,聂陟枫,谢刚,马文会,戴永年,俞小花,宋东明,,
来源：中南大学学报(自然科学版) 年份：2016
提出SiHCl3-H2体系多晶硅化学气相沉积的传递-动力学模型（TKM），同时考虑传递过程和表面化学反应动力学对硅沉积速率的影响。研究硅沉积过程受表面化学反应速率限制和传递速率限......
[期刊论文] 作者：李亚广, 聂陟枫, 周扬民, 方文宝, 谢刚, 侯彦青,,
来源：现代化工 年份：2018
对生产多晶硅的主要生产方法进行了比较,指出改良西门子法、流化床法、冶金法这3种工艺的优点和不足。重点介绍了多晶硅主流生产方法改良西门子法,阐述了改良西门子法生产多...
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