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[学位论文] 作者：金哲山,,
来源：北京化工大学 年份：2006
搅拌槽的流体混合是化工过程中最常见的单元操作之一，对搅拌槽内流体流动的研究将对深入了解混合特性等方面很有帮助。近几年无论从实验角度还是从数值模拟的角度对流体流动的......
[期刊论文] 作者：金哲山,
来源：医药导报 年份：1995
报道抗菌药物、枸橼酸铋钾、质子泵抑制剂、中药、联合用药等治疗幽门螺杆菌感染近况。...
[学位论文] 作者：金哲山,
来源：北京化工大学 年份：2006
本文首先分析比较了研究宏观不稳定的实验数据时，所用到的数字信号处理方法，研究表明功率谱估计与小波分析组合法可更有效地分析含有噪声的一维低频信号的频率值和峰值。在直径......
[期刊论文] 作者：党亮英, 金哲山, 胡毓龙,
来源：电子世界 年份：2022
＜正＞利用科学品质工具,进行TFT特性的探索。探索以要因筛选、DOE优化、趋势化管控的逻辑展开。首先要因筛选通过流程分析定范围,树形图分析锁要因,然后用回归分析验证根本原因。筛选出要因之后我们利用DOE的方法进行策划实验去寻找最佳的参数组合,主要是策划明确......
[期刊论文] 作者：金哲山,李志鹏,高正明,贺友军,,
来源：过程工程学报 年份：2007
在直径为0.476 m的平底圆柱搅拌槽内,实验测定了不同条件下搅拌桨扭矩的数据. 通过构造信号比较了信号的处理方法,表明功率谱密度与小波分析组合法可更有效地分析含有噪声的...
[期刊论文] 作者：金鹰泰,林永华,金哲山,李凤富,
来源：中国稀土学报 年份：1993
合成了一种新的新戊氧基钕化合物-[(CH_3)_3CCH_2O]_4Nd_2O,并测定了它的晶体结构。这一化合物与氯化烷基铝和三烷基铝组成的催化体系,可使双烯烃聚合得到顺式-1,4含量为90％～98...
[期刊论文] 作者：周东淇,董杰,金哲山,杨晓东,周立,
来源：电子测试 年份：2019
本文以某工艺设备节能改造项目为例,对项目技术及建设方案进行了分析,研究了新型ERM节能装置对干泵节能效果,以供参考。...
[期刊论文] 作者：金哲山, 霍建宾, 董杰, 刘晓婷, 胡毓龙,,
来源：真空科学与技术学报 年份：2004
等离子体增强型化学气相沉积法(PECVD)设备具有高真空特点,容易发生漏气(Leak)事故,为预防事故发生,对PECVD腔室构造、成膜原理及过程进行深入分析。从原理上检讨通过光谱分...
[期刊论文] 作者：胡毓龙,金哲山,董杰,刘晓婷,霍建宾,
来源：真空科学与技术学报 年份：2021
采用等离子体增强型化学气相沉积(PECVD)法在大尺寸玻璃基板上沉积氮化硅薄膜,对薄膜性能进行了研究,并从微观角度对所得结论进行了进一步分析与讨论.PECVD法在连续沉积氮化...
[期刊论文] 作者：杨蕾, 金哲山, 刘晓婷, 胡毓龙, 李素哲, 郭文杰,,
来源：电子世界 年份：2019
随着HADS产品需求的增加,大批量生产中DCS不良问题极大影响了产品良率。HADS产品产生DCS线不良的主要原因为PVX镀膜及曝光工艺中,PVX膜层Particles及PVX Open导致Data线与Com...
[期刊论文] 作者：周立, 金哲山, 董杰, 周东淇, 张猛, 杨晓东, 胡毓龙,
来源：真空科学与技术学报 年份：2004
针对液晶显示领域等离子增强化学气相沉积(PECVD)设备原理和结构,构建基于FDC(Fault Detection&Classification)系统的PECVD设备智能化管理模式。通过FDC系统收集PECVD的设备...
[期刊论文] 作者：周立, 杨晓东, 金哲山, 董杰, 周东淇, 张猛, 胡毓龙,
来源：中国设备工程 年份：2019
本文介绍了PECVD G8.5设备RF系统的结构和工作原理。结合PECVD设备在实际生产过程中反射功率过高的问题,通过RF Generator设置,RF match电容配比实验,设备故障以及备件管理的...
[期刊论文] 作者：周立, 杨晓东, 金哲山, 董杰, 周东淇, 张猛, 胡毓龙,,
来源：中国设备工程 年份：2019
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[期刊论文] 作者：周东淇,董杰,金哲山,杨晓东,周立,张猛,胡毓龙,张杰峰,刘,
来源：电子世界 年份：2019
随着PECVD设备逐渐老化,上部电极(Diffuser)挂Particle的能力变差,腔室进行Clean时四角的Clean能力降低,Clean时间加长,为保证产品品质,需增加腔室的Clean时间,因此增加了NF3...
[期刊论文] 作者：周东淇,董杰,金哲山,杨晓东,周立,张猛,胡毓龙,张杰峰,刘晓婷,,
来源：电子世界 年份：2019
1.引言rnPECVD(Plasma Enhanced Chemical Vapor Deposition)即等离子体增强化学的气相沉积法.是借助微波或射频等使含有薄膜组成原子的气体电离,在局部形成等离子体,等离子...
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