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[期刊论文] 作者:黎修祺, 骆如枋, 毛平天,,
来源:低温与特气 年份:1986
前言在半导体材料及电子器件生产中,要用到诸如氢、氮、氧、氩和氦等高纯气体,气体纯度严重影响产品质量。如氢、氮等气体及其流经的系统中的水份和氧,对硅及Ⅲ-V族化合...
[期刊论文] 作者:黎修祺,骆如枋,毛平天,
来源:分析试验室 年份:1983
测定气体中痕量水份有露点仪、电解水份仪、压电水份仪和氧化铝水份仪等,各有优缺点;就灵敏度、连续性和操作繁简来说,以氧化铝水份仪为佳。1941年Kaller首先发表了氧化...
[期刊论文] 作者:骆如枋,陆德仁,陆玉萍,
来源:应用科学学报 年份:1996
一种聚酰亚胺(PI)薄膜电容栅FET微型湿度传感器已经初步研制成功.这是一个n沟道增强型器件,具有曲折栅结构;沟道长约10μm,宽>8000μm;栅区绝缘层厚约300nm(SiO_2+Si_3N_4);一个Au-PI-Al纵向湿敏电容覆植于绝缘栅上.本文报道该PI-HUMFET的结......
[期刊论文] 作者:骆如枋,罗桂昌,陆玉萍,严荣华,
来源:传感技术学报 年份:1990
Si—MOS电容式湿度传感器是利用IC技术制作的微型绝对湿度传感器,它体积小、灵敏度高、化学稳定性好,特别适用于IC及微电子器件气密封装内的湿度检测和永久性气体中微量水份...
[期刊论文] 作者:骆如枋,陆玉萍,边伟勇,朱庆杨,陈羽男,李晓红,张建安,
来源:应用科学学报 年份:1993
高分子薄膜湿度传感器是当今可实用的性能较优越的一类湿度传感器.一般所用的感湿材料,以醋酸纤维系为主(CA,CAB).聚酰亚胺(PI)于六十年代开始用作电器绝缘材料,七十年代用...
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