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沉积TiB2薄膜的电极真空绝缘性能实验研究
利用由一定结构的球面(阴极)-平板(阳极)组成的真空间隙,模拟特种电真空器件中电极间的微放电过程。用离子束辅助沉积(IBAD)法,在阴极球面......
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微放电模拟
硼化钛薄膜
单次放电电流参数
离子束辅助沉积
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真空绝缘性
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