微放电模拟相关论文
一定结构的半球（阴极）－平板（阳极）组成的真空间隙，来模拟特种电真空器件中电极间的微放电过程。用ＩＢＡＯ（高子束辅助沉积）法，在阴极半球面上沉积出......
利用由一定结构的球面（阴极）-平板（阳极）组成的真空间隙，模拟特种电真空器件中电极间的微放电过程。用离子束辅助沉积（IBAD）法，在阴极球面......
