压阻式加速度计相关论文
该文提出了一种压阻式加速度传感器结构。采用四梁结构，横向灵敏度比较小，灵敏度比较高，达到了14.67mv/g。是一种比较实用的传感器。......
微机械加速度传感器是一种重要的惯性测量器件,具有体积小、重量轻、响应快、易于加工等优点,目前在国内外已有着广泛的应用,其中......
本文介绍了传感器信号处理器MAX1457的主要功能及其用于对硅压阻式加速度计进行温度补偿的系统组成、补偿方法等.并通过实际补偿结......
提出了一种新型的基于AlAs/InxGa1-xAs/GaAs共振隧穿纳米薄膜结构的压阻式加速度计结构,运用MATLAB软件对敏感结构参数进行了计算,......
主要讨论硅基单芯片集成的三轴压阻式MEMS加速度计芯片的建模与仿真。通过有限元软件ANSYS建立的结构模型可以较好的理解和分析所......
介绍一种压阻式加速度计双端固支梁的结构,并建立其三维实体有限元模型.分析了在惯性载荷作用下的弹性梁的应力及应变,并对弹性结......
设计了一种新型四梁压阻式MEMS高gn（gn=9．8m／s^2）值加速度计，其量程为0～150000gn，抗冲击200000gn，横向灵敏度小于6％。根据设计指标及强度条......
本文介绍一种量程为100g的压阻式加速度计，用硅材料制作，适于批量生产。这种新型加速度计的工作原理与原有的加速度计有所不同，检测质......
【正】 医务工作者常说:快跑有时会增大受伤的可能性。逻辑似乎就是这样:在快跑中骨胳肌的应力随之增大。本实验的目的就是测定跑......
针对高冲击加速度测量，分别就硅微加速度传感器等载面和变载面悬臂枯不同结构尺寸下的应力状及固有频率进行了有限元数值模拟；对等截......
通过将压阻加速度计上帽与结构片的键合（365℃保温10min），再进行下帽与结构片的键合（380±10℃保温20min），成功进行了三层键合。测得......
介绍了一种简单而有效的天平方法来检测高量程微机械加速度传感器芯片的静态特性。设计了和种新结构，上面带有压敏电阻，用该方法测量......
针对微机械系统(MEMS)加速度计封装过程中引入的残余应力进行测量和分析。采用简支梁模型对有无残余应力下的传感器敏感结构进行挠......
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通过将压阻加速度计上帽与结构片的键合 ( 36 5℃保温 10min) ,再进行下帽与结构片的键合 ( 380± 10℃保温2 0min) ,成功进行了三......
