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厚铝相关论文

厚铝芯片制造工艺的光刻对准效果改善

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厚铝光刻对准功率器件专用器件

芯片制造中的厚铝刻蚀工艺

刻蚀工艺分为干法刻蚀和湿法刻蚀,湿法刻蚀具有低成本、选择比高、各向同性的特点,干法刻蚀具有选择比低但各向异性的特点。在高压......

期刊

厚铝刻蚀复合掩蔽干法湿法工艺

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