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导电率形貌图相关论文
平面亚微米导电率精确测量及其在MEMS器件无损检测中的应用研究
亚微米尺度下,导电率的变化与此尺度下的缺陷或疲劳失效有着十分紧密的联系,而“亚微米”是MEMS导电薄膜器件结构特征尺度范围,且......
学位
亚微米导电率
原子力显微镜
导电率形貌图
MEMS器件
无损检测
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