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本文介绍采用密闭热系统拉晶工艺拉制单晶的情况。试验表明，密闭拉晶不仅有利于减少电耗和氩气消耗，而且可有效地降低硅单晶的氧含量......
ue＊M＃’＃dkB4＃＃8＃”专利申请号:00109“7公开号:1278062申请日:00.06.23公开日:00.12.27申请人地址:（100084川C京市海淀区清华园申请人:清......
本文报道对直拉硅单晶碳沾污机理的研究.用气相色谱法分析了石英与石墨反应生成物CO的蒸气压P_(co)以及拉晶条件下石英坩埚和石墨......
本文通过理论计算、实验校验,定量地研究了坩埚对硅单晶质量的影响,提出了高纯涂层石英拉晶工艺。
In this paper, the effect of......
