无掩膜曝光相关硕士博士期刊学术论文 - 信丰网

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湿法刻蚀制备微透镜阵列的影响因素

湿法刻蚀在直接制备微透镜阵列以及制备微透镜阵列复制模具中得到了广泛应用.文章从基材、刻蚀保护层、曝光方式、刻蚀液、刻蚀工......

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微透镜阵列湿法刻蚀基材无掩膜曝光

聚焦离子束系统在微米/纳米加工技术中的应用

聚焦离子束系统是微细加工和分析的主要技术之一，是一个完美的微米／纳米技术研究平台。简述了聚焦离子束系统的组成和主要功能，着重介......

期刊

聚焦离子束刻蚀沉积离子注入微区分析与加工无掩膜曝光

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