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利用微波等离子体化学气相沉积设备在高掺杂硅衬底上沉积一层金刚石薄膜,然后采用离子注入法在金刚石薄膜中注入不同剂量的从而制......
该文研究了用UTT－40型超高真空镀膜机蒸发形成的多晶硅薄膜的高子注入掺杂和退火特性，并用多晶硅发射极制作了新型的高灵敏度光电晶......
本文通过直流磁控溅射在Si基体上沉积了La-Sr-Mn-O(LSMO)薄膜，并系统研究了不同条件沉积的LSMO薄膜的成分、结构和金属-绝缘体转变......
简要地介绍了单晶Si中注入掺杂原子在热激活退火中发生的瞬间增强扩散现象, 综述了该现象发生的可能的微观机制和目前提出的几种抑......
针对大角度离子注入机中的颗粒污染进行了分析和探讨,着重描叙了颗粒的产生,对注入掺杂的影响;介绍了颗粒的测量和监控;重点列出了......
