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漏致势垒变低效应相关论文
含接地层的薄隐埋层超薄SOI器件特性研究
本文研究了具有薄隐埋层的超薄体SOI器件,讨论了超薄体SOI器件以及减小隐埋层有利于器件短沟道特性的改善。在此基础上通过使用med......
期刊
接地层(GP)
薄隐埋层
薄SOI
短沟道效应
漏致势垒变低效应
纳米SOI MOSFET器件性能仿真和新器件结构研究
集成电路不断向着高集成度的方向发展,伴随器件尺寸的缩小,短沟道效应对器件性能的影响也日益严重,成为制约器件进一步小型化的主......
学位
绝缘衬底上的硅
异质栅
单Halo沟道
阈值电压
接地掺杂层
短沟道效应
漏致势垒变低效应
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