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重点阐述了微光机电系统(MOEMS)的基本制造工艺:硅微机械加工技术和LIGA技术,并介绍了几种典型的工艺应用。最后对其发展进行了展......
本文简要介绍了微光机电系统(MOEMS)中的微加工技术,主要是硅微机械加工技术和11-GA技术,并介绍了微光机电系统在信息与通讯、汽车......
提出一种新的牺牲层工艺.先将阳极氧化生成的多孔硅在 300℃的氮气氛下进行退火以稳定其多孔结构,然后将其在 700℃下氧化成为具有......
提出了一种压阻式加速度计的新结构模型,采用梁膜结合结构方式,提高了低量程微硅压阻式加速度计的固有频率,减小了挠度对加速度计......
主要介绍了五种目前常见的基于MEMS技术的加速度传感器,从物理结构的角度对这几种传感器的测量原理进行了分析,不但着重介绍了已经......
研究了一种主要应用于碰撞测试领域的硅微机械高性能压阻式加速度计,量程范围为2 000gn.为满足技术性能要求,加速度计采用一种三梁......
设计、制造并测试了一种单片集成的压阻式高性能三轴高g加速度计,量程可达105g.x和y轴单元均采用一种带微梁的三梁-质量块结构,z轴......
