重点阐述了微光机电系统(MOEMS)的基本制造工艺:硅微机械加工技术和LIGA技术,并介绍了几种典型的工艺应用。最后对其发展进行了展......

硅通孔(TSV)通过缩短互连长度可实现低延迟、低功耗等目的。对应用于微光机电系统(MOEMS)集成的TSV工艺进行了研究,通过ICP-DRIE参......

频闪白光干涉技术（SWLI）能够对被测系统进行动态模式的重建和表征,在微机电系统（MEMS）或微光机电系统（MOEMS）等振动样品测量中具有很高的......

微纳米技术的迅速发展促使微机电系统(MEMS)与微光学相结合形成微光机电系统(MOEMS),从而为可编程相位光栅的研究和实现提供了可能......

设计制成一种数字化电磁驱动微机械MOEMS可调光衰减器.与传统可调光衰减器相比,该器件不仅可实现光衰减量数字化电控调节,并且可通......

本文叙述了一种基于MOEMS技术的微型可编程相位光栅的原理性实验结果,并与数值仿真结果进行了比较,验证了这种光栅技术理论的正确......

微光机电（MOEMS）陀螺代表着微型光学陀螺的重要发展方向，而MOEMS谐振腔的设计是谐振式MOEMS陀螺的核心技术．提出了一种新颖的基于微纳......

基于半导体微纳米尺度加工技术的微机电系统与微光学技术的结合形成了微光机电系统MOEMS（Micro-Optic—Electro—Mochanicai System......

论证了一种基于SOI(Silicon On Insulator)片上工艺的,通过光强差分测量加速度的微光机电系统(MOEMS)加速度计。器件主要结构为较......

针对采用半导体工艺加工的微机械结构对振动进行测量的问题,提出了基微光机电系统(MOEMS)结构并采用光纤读出的振动传感器的设计方......

研究了基于自适应光学的气动光学效应波前校正的方法;在现有自适应光学理论的基础上,构建了基于MOEMS的气动光学效应波前校正的关......

针对Si C衬底的白光LED技术研究和智能化半导体照明技术发展的需求,基于Si材料的功能特性和物理特性,研究了将Si作为Si C基LED封装......

提出了一种采用垂直梳齿驱动器驱动的大尺寸、大扭转角度、低驱动电压微光机电系统（MOEMS）扫描镜。理论分析了垂直梳齿驱动器的工作......