硅微谐振器相关论文
为了实现高品质因数及低相位噪声的压控振荡器,结合硅微谐振器的静电负刚度效应,利用基于锁相环的谐振器闭环驱动检测电路搭建了微......
微电子机械系统(MEMS)以微电子及微机械加工技术为依托，涉及微电子学、机械学、力学、自动控制学、材料科学等多种工程技术和学科。......
对支承硅微谐振器的两种弹性系统———直脚型和蟹脚型结构进行了全面的力学分析 ,给出了应力、位移及弹性常数等力学参量的计算方......
提出一种用于硅微机械谐振传感器研究的单光源激振测振新方法,即微谐振器的激励及其谐振信号的测量使用同一光源。该方法采用全光......
分无镀膜(或镀膜很薄)和有较厚镀膜两种情况，对硅微谐振器的光激励振幅进行了分析计算.针对有较厚镀膜的硅微谐振器，在理论分析的基......
用理论分析方法研究了硅微悬臂梁的电热激振机理,得到了微机械悬臂梁电热激励下的温度场分布,并推导出了镀膜双层硅微悬臂梁的电热......
介绍了硅微静电梳状谐振器的静电驱动工作原理，重点提出了基于DSP芯片和DDS技术的智能驱动源系统设计框架。详细分析了数字电路部分......
与相同几何尺寸的其他支撑形式相比,之字型支撑梁降低了硅微谐振器的谐振频率.通过对之字型支撑梁硅微谐振器的力学建模分析,发现......
