绝对检验相关论文
干涉测量法是检测光学元件表面面形精度的常用方法,但该方法会受到干涉仪参考平晶面形精度的制约,测量结果中不可避免地携带了参考......
为获得三维面形的绝对分布,提出一种基于奇偶函数和Fourier级数的三球面面形重建方法。该方法在传统三球面法的测量基础上将测试面......
干涉仪参考镜面形离焦误差难以精确标定，是导致拼接累积效应、制约平面子孔径拼接系统检测精度的主要因素。推导了参考镜离焦与拼接......
光干涉测量法是最常用的光学平面面形高精度测量方法,该方法的实质是进行比较测量,即利用双光束干涉的方法将待测平面与参考平面作......
为了更好的满足科学研究和工程技术中对高精度光学平面的要求，多种平面绝对检验方法已经被提出，例如最早的是利用液面法实现绝对检验......
光学干涉测量是公认的高精度检测光学元件和光学系统的一种技术手段。平面干涉仪是一种基于光学干涉原理，测量光学平面表面轮廓形状......
高精度平面光学元件是现代光学系统和高精密仪器中的重要组成部分，其面形质量的优劣直接关系到光学仪器的性能表现。干涉测量技术具......
该文紧紧围绕如何实现高精度测量这一主题,从测量原理,精确复原数字化波面和消除系统误差三个方面着手进行了深入的研究.详细分析......
随着光学的发展，非球面在光学系统中的应用越来越广泛，而高精度的检验技术是制约非球面发展的重要因素。本文研究一种高精度的非球面......
以大型空间望远镜、空间对地详查相机、极大规模集成电路制造设备以及高能激光核聚变系统为代表的现代光学系统对于大口径光学元件......
为了解决大口径光学平面的高精度检测问题,用绝对检验方法对大口径光学平面局部进行检测.采用两平晶互检的方法,得到局部面型的绝......
传统的三平面互检法与ZYGO干涉仪自带的three-flats程序都不能实现三个平面的三维面型测量.以ZYGO干涉仪的GPI程序为基础,通过对仪......
提出了一种测量干涉仪参考镜非旋转对称面形误差的方法。测量波面用36项Zemike多项式来表示，利用Zemike多项式形式的旋转不变性，求解......
大口径平面光学元件的使用越来越广泛,但它的检测精度受大口径干涉仪参考面的面形误差限制。为了解决此问题,采用双平晶互检法标定......
在高精度光学元件领域,特别是大口径的平面光学元件,随着对测试精度和口径要求的提高,重力变形成为其不可避免的问题。介绍了立式......
为了获得高反射率光学平面的绝对面形分布,提出了基于斜入射的平面度绝对检验方案。该方法通过菲索干涉仪的空腔干涉以及两次斜入......
期刊
为研制出193nm光刻投影物镜曝光系统,实现曝光系统光学元件的面形检测精度要求,拥有一台测量精度可以达到λ/50 (PV)、λ/300 (RMS......
对于光学平面面形的检测,目前普遍采用的干涉测量法需要一块高精度的参考平面作为标准,是一种相对检测方法,其测量精度受到参考面......
一般的光学系统是由透镜、棱镜及分光镜、反射镜等光学零件组成，其面形通常是球面和平面两大类。因其独特的光学性能，柱面系统随着高......
光干涉测试的绝对检验法可以分离参考面和测试面,得到光学表面各自的真实面形。其中,三球面法可实现高精度的面形检测。为获得三维......
应用两种方法对三个高精度平面进行了测试。第一种方法是Fritz的三面互检法,它利用Zernike多项式的特性拟合三个面四次组合测量得......
期刊
惯性约束核聚变(Inertial Confinement Fusion简称ICF)是人类解决全球能源危机的一个有效途径,其中ICF驱动系统中大口径平面光学元......
