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不用离轴滤波器增大焦深的新型曝光方法已研制成功，为ＫｒＦ（２４８ｎｍ）准分子激光光刻技术生产第二代６４ＭＤＲＡＭ器件增添了活力。用这种新方法制作０．３５μｍ的Ｘ、Ｙ向及斜......
ＢＧ－４０１型高分辨率接触式曝光机＠董同社￥电子工业部第四十五研究所ＢＧ－４０１型高分辨率接触式曝光机董同社（电子工业部第四十五研究所甘肃平凉７４４０００）１用途与性......
在深紫外LIGA加工中,制作高精度大高宽比的微器件是很困难的。难点在于SU-8光刻胶对紫外光的吸收系数随着波长变短而很快变大,而且......
绪言大多数超声诊断装置是显示被检物体的切面象,医生观察一组连续的切面图象而建立物体的三维结构表象。研究超声全息成象大大促......
苍蝇只用一对前翅飞行，后一对翅膀已退化成为一对哑铃状的“平衡棒”，这一对小棒，能使它飞行时保持身体平衡和纠正航向。苍蝇飞行时，平......
本文根据多年来的实验结果和工作经验,探讨在研制投影光刻精细线条的照明系统中,解决关于大照明面积、高照明均匀性、高象面照度及......
苍蝇的眼睛十分特殊,共有5只。其中3只较小的是单眼,为感觉光度强弱的。另外两只为复眼,每只由3000多个小眼组成。这众多的小眼都......
小编有话说:动物播星比赛开始啦!这个消息像长了翅膀,在动物界引起不小的轰动。据可靠消息,动物播星由各种动物担当主播,比一比谁......
我所研制的曝光面积φ75毫米的 GK—6型远紫外曝光机,经过在航天工业部第23研究所一段时间工艺考核后,已于1984年底顺利通过鉴定......
本文描述了AZ1350先致抗蚀剂用于拷贝4″×4″光掩模的工艺优化设计,并利用计算机编程计算,求得的数学模式可以用来确定任何要求的......
目前的投影机光源--高压汞灯存在寿命短、色温高、存在有害光线、发热集中等缺点,严重制约了投影机进入家庭应用领域.发光二极管的......
设计了一种基于LED光源照明系统的DLP背投电视光学引擎,样机以HD2＋数字微镜（DMD）,蝇眼透镜,X棱镜作为主要光学系统构件.介绍了基于光......
接近式光刻中一般采用柯勒照明系统，并采用蝇眼透镜形成多点光源均匀掩模面的光场分布．利用基尔霍夫衍射理论及多点光源的衍射光场非......
