射频等离子体相关论文
钛及钛合金具有比强度高、密度低和生物相容性好等优异性能,广泛应用于航天航空、海洋工程和生物医疗等领域。尤其是近年来3D打印......
空心玻璃微球因具有低密度、高强度、耐高温等优点而被广泛研究.采用喷雾造粒法与粉末法相结合,掺入发泡剂,以射频等离子体作为热......
采用射频等离子体增强化学气相沉积(RF-PECvD)法在聚酰亚胺衬底上制备了非晶硅薄膜，主要研究了射频功率对沉积速率、均匀性、薄膜应......
以玻璃为基底，采用射频等离子体增强热化学气相沉积法合成了碳纳米管。在450℃、在氮气／氢气气氛中加热和活化镍膜，然后在氮气／乙炔中，......
以C2H2为碳源,Ar气为辅助气体,利用射频等离子体化学气相沉积的方法在载玻片上成功地制备了类金刚石(DLC)薄膜。通过红外光谱(FTIR......
以喷雾造粒WC–30Co粉末为原料,采用射频等离子体和后续热处理制备3D打印用球形WC–Co粉末,研究射频等离子体球化和热处理对粉末特......
大气压射频放电因具有诸多优势，日益成为一种备受关注的大气压非平衡等离子体产生方式，展示了广阔的应用前景。本文采用一维流体......
CO2作为碳及含碳化合物的最终氧化产物，无论是从碳资源综合利用角度，还是从环境污染控制来讲，研究开发其转化利用具有极为重要的意义......
与收音机频率血浆准备的 preoxidation 纤维的微观结构通过扫描电子显微镜学(SEM ) 以微米， nano 和原子规模被描绘，高解决传播电子......
采用射频容性耦合氧等离子体改性聚乙烯表面,射频等离子体功率200 W、处理时间10-60 min,获得了具有纳米线结构的聚乙烯表面。......
本文采用发射光谱法研究了SF6射频辉光放电等离子体的性质。在超光滑光学表面加工时,使用了SF6、O2和Ar混合气体等离子体,为了研究......
随着社会可持续发展的迫切需要,发展绿色能源储存和转换技术至关重要。析氢反应（hydrogen evolution reaction,HER）作为电解水和氢燃......
低温等离子体是对当今科技发展与工业应用影响重大的一项科学与工程,未来半导体行业的集成化和微型化要求会更高,也就迫切需要低温......
钛基铱钽氧化物阳极以其优异的电化学活性和稳定性在废水处理、土壤修复等领域引起了广泛的关注。该类阳极的研究方向之一是制备电......
采用射频等离子体技术制备新型Cu-Co/SiO2催化剂.与直接焙烧制备的样品相比,射频等离子体处理提高了催化剂的比表面积,显著增大了......
建立了一个等离子体射频激励器,工作气体为氢气,工作气压为0.3Pa,激励器陶瓷桶直径300mm,工作频率1MHz。实现了RF等离子体激发放电......
利用Z-scan、电流、电压探头,通过测量等离子体吸收功率、天线电流、电压、等离子体直流悬浮电位等多种参数,研究了匹配网络、天线......
采用Ar/O2射频等离子体,对垂直排列的碳纳米管阵列进行改性,研究了等离子参数对碳纳米管阵列表面形貌、原子成分和结构的影响.......
利用射频等离子体化学气相沉积技术在硅基底上沉积类金刚石薄膜，利用红外透射光谱、椭圆偏振仪、Raman光谱等测试手段，研究在不......
本文分别调查了采用直流和射频电源时辉光放电等离子体中铁原子谱线(发射能3.3-4.3eV)波尔兹曼图，并比较了两者的发射特点.波尔......
以不规则形状的Ti—6Al—4V(TC4)粉末为原料,通过射频等离子体球化处理制备了球形TC4粉末,并研究了球化处理对粉末特性及加料速率......
本文采用射频等离子体化学气相淀积方法(RF-PECVD)方法，以溴乙烷(C2H5Br)为单体，氢气(H2)为载气，室温条件在硅片、石英衬底上生长了掺......
以二种中国煤为原料,用射频等离子体法制备洋葱状富勒烯(Onion-likeFullerenes:OLFs),就压力对产物的影响进行了讨论.OLFs的表征采......
本文综述了我所等离子体材料实验室二十多年来在采用电弧等离子体,射频等离子体和微波等离子体技术通过物理法和化学法制取纳米超......
射频等离子增强化学气相沉积是制备优质薄膜的一种非常重要的方法，等离子体中输运参数与薄膜生长及其特性关系密切。我们综合利用自......
ZnO是具有纤锌矿晶体结构的直接宽带隙多功能半导体材料,它具有多种优良的物理性能,在声表面波、透明电极、光电器件、蓝紫光器件......
纳米洋葱状富勒烯作为富勒烯家族的一员，以其独特的分子结构可望在高性能耐磨材料、超导材料、信息材料和生物医用材料等领域有广泛......
本论文探讨了利用射频等离子体增强化学气相沉积（rf PECVD）技术以CH4、H2为气源，Ar为稀释气体，在不锈钢、玻璃等基底上制备大面积类金......
目前，Ⅲ-Ⅴ族氮化物半导体材料因其优异的特性引起了全世界关注。其中可覆盖光谱范围354nm～1720nm的InxGa1-xN材料，在高效率太阳能电......
射频等离子体气相沉积法(Radio-Frequency plasma chemical vapordeposition，RF—PCVD)能够制各出分散性好、粒度分布窄、纯度高等......
组织工程学是应用细胞生物学和工程学的原理，研究、开发修复和改善损伤组织结构和功能的生物替代物的一门科学。将具有良好生物相容......
由合成气催化转化制低碳醇对于应对能源危机和环境问题具有重要意义，因而受到广泛关注。目前研究焦点主要集中在提高CO转化率、总醇......
在国际热核聚变实验堆(ITER)中，所有光学诊断系统都需在前端设置反射镜传输光学信号获取等离子体运行状态，其中距离等离子体最近的反......
电感耦合等离子体(ICP)放电的过程中会经历两种放电模式，分别是容性耦合放电（E模）和感性耦合放电（H模）。由于等离子体中的非线性效应，导......
本文主要介绍了通过射频等离子体增强化学气相沉积法,利用SiHH4和Ar作为反应气体,在不同的射频功率条件下进行气相沉积反应,制备出......
利用等离子体辅助分子束外延(P-MBE)方法,通过优化生长条件,在c平面蓝宝石(Al_2O_3)上生长出氧化锌(ZnO)单晶薄膜。使用反射式高能......
以不规则形的钕铁硼粉为原料,使用射频等离子体球化处理工艺,制备球形钕铁硼粉.研究了原料的加料速率和粉末粒度对粉末球化率的影......
采用射频辉光等离子体技术,以氮气与氨气的混合气体为气体源对纯钛进行处理.采用X射线光电子能谱对改性的样品表面成分进行分析,并......
采用射频等离子体增强的气相沉积法,以硅烷和乙烯为原料,在常温下成功的合成了碳化硅薄膜.对于该条件下合成的碳化硅薄膜的结构特......
低能宽束离子源是离子束沉积、刻蚀和表面改性系统的核心部件,综述了考夫曼、射频等离子体、电子回旋共振等离子体、无栅网等四种......
本文利用实验过程中直接产生尘埃粒子的方法,实验气体是乙烯和硅烷,氩气是载气.在射频等离子体鞘层内形成尘埃云及尘埃空洞.通过观......
射频等离子体具有温度高(约104℃)、等离子体炬体积大、能量密度高、传热和冷却速度快等优点,是制备组分均匀、球形度高、缺陷少和......
用射频等离子体辅助化学气相沉积方法生长碳纳米洋葱 .电子显微镜观察表明 ,产物中无碳纳米管等伴随生成 ,因而制得了较高产率、较......
