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重掺n型直拉硅相关论文
重掺杂直拉硅单晶的氧化诱生层错
氧化诱生层错(OSF)是硅片在热氧化过程中可能产生的一种缺陷,它的存在会增大漏电流、降低击穿电压,导致器件性能下降甚至失效。目......
学位
氧化诱生层错
重掺n型直拉硅
掺杂剂
点缺陷
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