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大型硅片内微区薄层电阻均匀性测试技术研究
随着科学技术的飞速发展,集成电路和软件早已经成为信息社会经济发展的基石和核心,其中集成电路是最能体现知识经济特征的典型产品......
学位
四探针测试技术
微区薄层电阻
Rymaszewski方法
EIT
等位线反投影法
芯片制造业发展有三大趋势是支撑起芯片业复兴的希望
现在业内采用的硅晶片直径一般为200毫米,今后的趋势是采用300毫米的硅晶片。300毫米晶片产生的芯片数量是200毫米硅晶片的2.4倍,从而......
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