A12O3栅介质相关硕士博士期刊学术论文 - 信丰网

A12O3栅介质相关论文

Al_2O_3栅介质的制备工艺及其泄漏电流输运机制

利用室温下反应磁控溅射结合炉退火的方法在P-Si(100)衬底上制备了Al2O3栅介质层，研究了不同的溅射气氛和退火条件对Al2O3栅介质层......

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A12O3栅介质泄漏电流输运机制 Schottky发射 Frenkel-Poole发射 Al2O3 gate dielectric leakage curre

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