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AlGaN外延层相关论文

利用三路脉冲MOCVD技术抑制非极性a面AlGaN外延层缺陷

利用三路脉冲金属有机化学气相沉积(MOCVD)技术,在半极性r面蓝宝石衬底上成功生长了非极性a面AlGaN外延层.使用高分辨率X射线衍射......

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AlGaN外延层三路脉冲技术金属有机化学气相沉积(MOCVD) 表面形貌 r面蓝宝石衬底

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