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C.V.D相关论文

变换工艺条件对C.V.D法制得的多晶硅薄膜电阻率及其剖面分布的影响

为了制备高效多晶硅薄膜太阳电池及其它半导体薄膜光电器件,除了需要选择成膜工艺条件外,还应借助对工艺条件等的控制,实现对膜的......

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剖面分布工艺条件电阻率多晶硅薄膜 C.V.D 半导体薄膜光伏电池电阻率剖面成膜工艺半导体器件

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