CrNx膜相关论文
在2024铝合金上采用了二次浸锌的预处理方法,以化学镀镍,电镀铜作为过渡层的特殊工艺,再利用磁过滤脉冲偏压电弧离子镀技术制备了Z......
本文采用非平衡直流磁控溅射方法制备CrNX薄膜,研究沉积参数对膜结构和性能的影响.结果表明沉积过程中增加N2的分压,薄膜的组成由C......