Cu互连线相关论文
采用EBSD研究了不同线宽和退火前后Cu互连线的织构和晶界特征分布.Cu互连线均具有多重织构,其中(111)织构强度最高.沉积态样品在室......
观察了ULSI中大马士革结构的Cu互连线的晶粒生长和晶体学取向 .分析了线宽及退火对Cu互连线显微结构及电徙动的影响 .Cu互连线的晶......
通过TEM、SEM、XRD和EBSD,观察了Cu互连线和平坦Cu膜的微观结构.采用薄膜应力测试分布仪和二维面探测器XRD,测量了平坦Cu膜和Cu互......
通过TEM、SEM、XRD和EBSD，观察了Cu互连线和平坦Cu膜的微观结构。采用薄膜应力测试分布仪和二维面探测器XRD，测量了平坦Cu膜和Cu互连......
观察了ULSI中大马士革结构的Cu互连线的晶粒生长和晶体学取向.分析了线宽及退火对Cu互连线显微结构及电徙动的影响.Cu互连线的晶粒......
采用X射线衍射仪和扫描探针显微镜,观察和测量了分别由大马士革工艺制备的Cu互连线和由反应刻蚀工艺制备的Al互连线的晶粒结构和应......
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在ULSI中采用Cu互连线代替Al以增加电子器件的传输速度和提高器件的可靠性.Cu的激活能约为1.2eV,而Al的激活能约为0.7eV.Cu互连线......
近年来,核壳纳米线作为非常重要的一维异质纳米结构材料,吸引了人们的广泛关注。半导体异质结构纳米线呈现出独特的电学、光学、和......
