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ECR-MOCVD方法相关论文

ECR—MOCVD方法GaN单晶薄膜生长热力学分析

基于热力学平衡和化学平衡理论,针对电子回旋共振金属有机化学气相沉积(ECR-MOCVD)系统生长GaN的特点,给出了化学平衡模型和理论分......

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