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氟化类金刚石薄膜的沉积及性能研究现状
类金刚石薄膜是80年代初出现的新型非金属薄膜材料之一 ,其优异的综合性能引起了人们极大的兴趣.本文对类金刚石薄膜的近期进展进......
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氟化类金刚石薄膜
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搀杂氟对类金刚石薄膜的影响
综述了氟化类金刚石薄膜(FDLC)的近期进展,重点介绍搀杂对类金刚石薄膜在结构,性能及沉积工艺上所带来的影响。......
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氟
氟化类金刚石薄膜
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