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类金刚石薄膜是80年代初出现的新型非金属薄膜材料之一 ,其优异的综合性能引起了人们极大的兴趣.本文对类金刚石薄膜的近期进展进行了概括性介绍,重点介绍在此基础上发展起来的氟化类金刚石薄膜材料(FDLC),包括氟元素对类金刚石薄膜(DLC)在结构、性能及在沉积工艺上所带来的的影响等.
氟化类金刚石薄膜的沉积及性能研究现状
【摘 要】
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类金刚石薄膜是80年代初出现的新型非金属薄膜材料之一 ,其优异的综合性能引起了人们极大的兴趣.本文对类金刚石薄膜的近期进展进行了概括性介绍,重点介绍在此基础上发展起来
【机 构】
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华中科技大学材料学院,华中科技大学材料学院湖北武汉430074,湖北武汉430074
【出 处】
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湖北汽车工业学院学报
【发表日期】
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2001年4期
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