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缺陷对β-Ga_(2)O_(3)薄膜的结构和光学特性的影响
采用射频磁控溅射技术和后期退火在蓝宝石衬底上成功制备了β-Ga2O3薄膜。借助于X射线衍射(XRD)、拉曼散射光谱(Raman)、X射线光电......
期刊
Ga2O3薄膜
退火
缺陷
结构和光学特性
Ga2O3film
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