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LaF_3薄膜相关论文
具有敏感膜的MIS型固态氧传感器的研制
本文研究可在定温下工作,具有LaF3(氟化镧)薄膜的MIS(金属-绝缘体-半导体)型固态氧传感器,并对其敏感机制进行了讨论。测试并分析了传感器的响应特......
期刊
MIS型氧传感器
LaF_3薄膜
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C-V特性
MIS type oxygen sensor
LaF3 gate electrode
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