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MBE溅射法相关论文
1.3μmGeSi/Si异质结光波导耦合器的设计与研究
在电子系统中为了实现信息传输的大规模化和高速化:一是采用高速电子器件;二是采用光波导连接芯片。GeSi/Si异质结在这两方面的应......
学位
GeSi/Si异质结
光栅耦合器
布拉格反射器
MBE溅射法
双光束干涉
等离子蚀刻
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