采用溶胶-凝胶技术,在Pt（111）/Ti/SiO2/Si衬底上制备了高（100）取向生长、表面平整且结构致密的（Pb,La）（Zr,Ti）O3反铁电厚膜,研究了温度场和......

针对国内外激光通信光束偏转微驱动构件所存在的体积大、功耗高、迟滞大、响应速度慢、控制精度低及控制方法复杂的技术瓶颈问题,......